Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen: Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen (2008)
DE PB NW RPISBN: 9783639034356 bzw. 363903435X, in Deutsch, Vdm Verlag Jun 2008, Taschenbuch, neu, Nachdruck.
Von Händler/Antiquariat, AHA-BUCH GmbH [51283250], Einbeck, NDS, Germany.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. - Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. 144 pp. Deutsch.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. - Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. 144 pp. Deutsch.
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen (2013)
DE PB NW RPISBN: 9783639034356 bzw. 363903435X, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller E.K. Okt 2013, Taschenbuch, neu, Nachdruck.
Von Händler/Antiquariat, AHA-BUCH GmbH [51283250], Einbeck, Germany.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware - Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. 144 pp. Deutsch.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware - Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. 144 pp. Deutsch.
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen: Entwicklungen, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik (2008)
DE PB NWISBN: 9783639034356 bzw. 363903435X, in Deutsch, 144 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.
Lieferung aus: Deutschland, Gewöhnlich versandfertig in 24 Stunden.
Von Händler/Antiquariat, Amazon.de.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-06-13, Freigegeben: 2008-06-13, Studio: VDM Verlag Dr. Müller.
Von Händler/Antiquariat, Amazon.de.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-06-13, Freigegeben: 2008-06-13, Studio: VDM Verlag Dr. Müller.
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen (2008)
DE PB NW RPISBN: 9783639034356 bzw. 363903435X, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken, Deutschland, Taschenbuch, neu, Nachdruck.
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Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen (2008)
DE PB NW RPISBN: 9783639034356 bzw. 363903435X, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken, Deutschland, Taschenbuch, neu, Nachdruck.
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