M: Simulation von Clustertools in der Halbleiterfert
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Becker, M: Simulation von Clustertools in der Halbleiterfert
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, VDM, neu.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung (2013)
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller E.K. Okt 2013, Taschenbuch, neu, Nachdruck.
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware - Clustertools werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt bei der Herstellung von integrierten Schaltungen auf Siliziumscheiben (Wafern). Ein Clustertool besteht aus mehreren Prozesskammern, in denen jeweils ein Prozessschritt an einem Wafer durchgeführt werden kann. Dabei kann ein Wafer mehrere Kammern nacheinander durchlaufen, und für einen Prozessschritt können mehrere identische Kammern vorhanden sein. Zwischen den Kammern werden die Wafer von Robotern transportiert. Der Autor Matthias Becker hat in seiner Master''s Thesis einen Simulator entwickelt, der den Fluss der Wafer durch ein Clustertool nachvollzieht. Schwerpunkte dieser Arbeit sind die Vermeidung von Deadlocks und eine begrenzte Vorausschau für Transporte. Steuerungsregeln für die parallele Bearbeitung von Wafern verschiedener Lose werden entwickelt und deren Leistungsfähigkeit analysiert. Die Clustertool-Simulation ist mit einer Schnittstelle zu einer Simulation einer ganzen Halbleiter-Fabrik ausgestattet, deren Funktionalität erprobt wird. Das Buch richtet sich sowohl an Informatiker als auch an Ingenieure (insbesondere im Industrial Engineering), die in der Halbleiterfertigung arbeiten. 104 pp. Deutsch.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller, Saarbrücken, Deutschland, neu, Hörbuch.
Clustertools werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt bei der Herstellung von integrierten Schaltungen auf Siliziumscheiben (Wafern). Ein Clustertool besteht aus mehreren Prozesskammern, in denen jeweils ein Prozessschritt an einem Wafer durchgeführt werden kann. Dabei kann ein Wafer mehrere Kammern nacheinander durchlaufen, und für einen Prozessschritt können mehrere identische Kammern vorhanden sein. Zwischen den Kammern werden die Wafer von Robotern transportiert. Der Autor Matthias Becker hat in seiner Master''s Thesis einen Simulator entwickelt, der den Fluss der Wafer durch ein Clustertool nachvollzieht. Schwerpunkte dieser Arbeit sind die Vermeidung von Deadlocks und eine begrenzte Vorausschau für Transporte. Steuerungsregeln für die parallele Bearbeitung von Wafern verschiedener Lose werden entwickelt und deren Leistungsfähigkeit analysiert. Die Clustertool-Simulation ist mit einer Schnittstelle zu einer Simulation einer ganzen Halbleiter-Fabrik ausgestattet, deren Funktionalität erprobt wird. Das Buch richtet sich sowohl an Informatiker als auch an Ingenieure (insbesondere im Industrial Engineering), die in der Halbleiterfertigung arbeiten.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung - Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller E.K. Taschenbuch, neu.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung: Clustertools werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt bei der Herstellung von integrierten Schaltungen auf Siliziumscheiben (Wafern). Ein Clustertool besteht aus mehreren Prozesskammern, in denen jeweils ein Prozessschritt an einem Wafer durchgeführt werden kann. Dabei kann ein Wafer mehrere Kammern nacheinander durchlaufen, und für einen Prozessschritt können mehrere identische Kammern vorhanden sein. Zwischen den Kammern werden die Wafer von Robotern transportiert. Der Autor Matthias Becker hat in seiner Master``s Thesis einen Simulator entwickelt, der den Fluss der Wafer durch ein Clustertool nachvollzieht. Schwerpunkte dieser Arbeit sind die Vermeidung von Deadlocks und eine begrenzte Vorausschau für Transporte. Steuerungsregeln für die parallele Bearbeitung von Wafern verschiedener Lose werden entwickelt und deren Leistungsfähigkeit analysiert. Die Clustertool-Simulation ist mit einer Schnittstelle zu einer Simulation einer ganzen Halbleiter-Fabrik ausgestattet, deren Funktionalität erprobt wird. Das Buch richtet sich sowohl an Informatiker als auch an Ingenieure (insbesondere im Industrial Engineering), die in der Halbleiterfertigung arbeiten. Taschenbuch.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung: Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators (2008)
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, 104 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.
Von Händler/Antiquariat, Amazon.de.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-07-07, Freigegeben: 2008-07-07, Studio: VDM Verlag Dr. Müller, Verkaufsrang: 6193500.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung: Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators (2008)
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, 104 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, gebraucht.
Von Händler/Antiquariat, Warehouse Deals.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-07-07, Freigegeben: 2008-07-07, Studio: VDM Verlag Dr. Müller, Verkaufsrang: 6193500.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung: Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators (2008)
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, 104 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.
Von Händler/Antiquariat, Amazon.de.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-07-07, Freigegeben: 2008-07-07, Studio: VDM Verlag Dr. Müller, Verkaufsrang: 6895780.
Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung: Entwicklung eines dynamischen Clustertool-Simulators (2008)
ISBN: 9783639067804 bzw. 3639067800, in Deutsch, 104 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, gebraucht.
Von Händler/Antiquariat, Warehouse Deals.
Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2008-07-07, Freigegeben: 2008-07-07, Studio: VDM Verlag Dr. Müller, Verkaufsrang: 6895780.