Entwicklung einer vakuumtauglichen Fhrung: fr planare Positionieraufgaben mit groem Verfahrbereich (German Edition)
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9783639250640 - Heyne, Marko: Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung
Heyne, Marko

Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung

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ISBN: 9783639250640 bzw. 3639250648, in Deutsch, Vdm Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.

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Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Wälzführung für den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden für die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und für die Reduzierung der Störeinflüsse auf die Messergebnisse benötigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe für den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und einer Wälzbeanspruchung gewählt. Die planare Wälzführung besteht aus zwei Funktionsflächen mit dazwischen angeordneten Kugeln. Ein Flachkäfig fasst die Kugeln. Hinweise zur Gestaltung des Flachkäfigs und des Läufers werden dargelegt. Theoretische Untersuchungen zur Wahl des optimalen Kugeldurchmessers und dem Anteil tragender Kugeln zur Gesamtanzahl der Kugeln werden durchgeführt. Zur Reduzierung der hohen auftretenden Hertz schen Flächenpressung wird eine Gewichtsentlastung des Läufers undKugel aus unterschiedlichen Werkstoffen betrachtet. Verschiedene Konzepte zum Aufbau eines Versuchsstandes zur Weiterentwicklung der Wälzführung werden vorgestellt.2010. 116 S.Versandfertig in 3-5 Tagen, Softcover.
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9783639250640 - Marko Heyne: Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung
Symbolbild
Marko Heyne

Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung (2010)

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ISBN: 9783639250640 bzw. 3639250648, in Deutsch, Vdm Verlag Apr 2010, Taschenbuch, neu, Nachdruck.

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. - Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Wälzführung für den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden für die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und für die Reduzierung der Störeinflüsse auf die Messergebnisse benötigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe für den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und einer Wälzbeanspruchung gewählt. Die planare Wälzführung besteht aus zwei Funktionsflächen mit dazwischen angeordneten Kugeln. Ein Flachkäfig fasst die Kugeln. Hinweise zur Gestaltung des Flachkäfigs und des Läufers werden dargelegt. Theoretische Untersuchungen zur Wahl des optimalen Kugeldurchmessers und dem Anteil tragender Kugeln zur Gesamtanzahl der Kugeln werden durchgeführt. Zur Reduzierung der hohen auftretenden Hertz schen Flächenpressung wird eine Gewichtsentlastung des Läufers und Kugel aus unterschiedlichen Werkstoffen betrachtet. Verschiedene Konzepte zum Aufbau eines Versuchsstandes zur Weiterentwicklung der Wälzführung werden vorgestellt. 116 pp. Deutsch.
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9783639250640 - Marko Heyne: Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung für planare Positionieraufgaben mit gro
Symbolbild
Marko Heyne

Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung für planare Positionieraufgaben mit gro

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ISBN: 9783639250640 bzw. 3639250648, in Deutsch, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.

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Paperback. 116 pages. Dimensions: 8.7in. x 5.9in. x 0.3in.Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Wlzfhrung fr den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden fr die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und fr die Reduzierung der Streinflsse auf die Messergebnisse bentigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe fr den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und einer Wlzbeanspruchung gewhlt. Die planare Wlzfhrung besteht aus zwei Funktionsflchen mit dazwischen angeordneten Kugeln. Ein Flachkfig fasst die Kugeln. Hinweise zur Gestaltung des Flachkfigs und des Lufers werden dargelegt. Theoretische Untersuchungen zur Wahl des optimalen Kugeldurchmessers und dem Anteil tragender Kugeln zur Gesamtanzahl der Kugeln werden durchgefhrt. Zur Reduzierung der hohen auftretenden Hertzschen Flchenpressung wird eine Gewichtsentlastung des Lufers und Kugel aus unterschiedlichen Werkstoffen betrachtet. Verschiedene Konzepte zum Aufbau eines Versuchsstandes zur Weiterentwicklung der Wlzfhrung werden vorgestellt. This item ships from multiple locations. Your book may arrive from Roseburg,OR, La Vergne,TN.
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9783639250640 - Marko Heyne: Entwicklung Einer Vakuumtauglichen Fhrung (Paperback)
Symbolbild
Marko Heyne

Entwicklung Einer Vakuumtauglichen Fhrung (Paperback) (2010)

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9783639250640 - Marko Heyne: Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung: für planare Positionieraufgaben mit großem Verfahrbereich
Marko Heyne

Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung: für planare Positionieraufgaben mit großem Verfahrbereich (2010)

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ISBN: 9783639250640 bzw. 3639250648, in Deutsch, 116 Seiten, VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, neu.

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Taschenbuch, Label: VDM Verlag Dr. Müller, VDM Verlag Dr. Müller, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2010-04-13, Studio: VDM Verlag Dr. Müller.
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