Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7×7-Oberflächen - 5 Angebote vergleichen

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9783897229242 - Stefan Mühlbauer: Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7x7-Oberflächen
Stefan Mühlbauer

Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7x7-Oberflächen (2002)

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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit den ersten Elementarschritten der Silizidbildung mittels MOCVD, nämlich der Adsorption von Fe(CO)$_5$ auf Si(111)7x7 Oberflächen bei Temperaturen zwischen 100K und 700K. Besondere Beachtung fand dabei die Wirkung von Silan [29] und das Verhalten des CO's, das bei der Dissoziation von Fe(Co)$_5$ freigesetzt wird. Dabei soll untersucht werden, ob Silan koadsobiert werden muss, um epitaktische Schichten herzustellen. Broché, Label: Logos Verlag Berlin, Logos Verlag Berlin, Produktgruppe: Book, Publiziert: 2002-05-30, Studio: Logos Verlag Berlin.
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9783897229242 - Stefan Mühlbauer: Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7x7-Oberflächen
Stefan Mühlbauer

Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7x7-Oberflächen (2002)

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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit den ersten Elementarschritten der Silizidbildung mittels MOCVD, nämlich der Adsorption von Fe(CO)$_5$ auf Si(111)7x7 Oberflächen bei Temperaturen zwischen 100K und 700K. Besondere Beachtung fand dabei die Wirkung von Silan [29] und das Verhalten des CO's, das bei der Dissoziation von Fe(Co)$_5$ freigesetzt wird. Dabei soll untersucht werden, ob Silan koadsobiert werden muss, um epitaktische Schichten herzustellen. Tapa blanda, Label: Logos Verlag Berlin, Logos Verlag Berlin, Produktgruppe: Libro, Publiziert: 2002, Studio: Logos Verlag Berlin.
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9783897229242 - Stefan Mühlbauer: Adsorption von Fe(CO) 5 auf Si(111) 7×7-Oberflächen
Stefan Mühlbauer

Adsorption von Fe(CO) 5 auf Si(111) 7×7-Oberflächen (2002)

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Stefan Mühlbauer

Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7×7-Oberflächen (2002)

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9783897229242 - Mühlbauer, Stefan: Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7×7-Oberflächen
Mühlbauer, Stefan

Adsorption von Fe(CO)5 auf Si(111)7×7-Oberflächen (2002)

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